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产品介绍 周边设备 977晶圆清洗机

977晶圆清洗机


高效的紧凑型清洗装置,为您的流程提供支持

ADT 977晶圆清洗机系统设计用于在切割后清洁工件。

系统有三种基本配置:

WCS-977:圆形晶片,最大8"
WCS-97LA:圆形晶片,最大12"


系统亮点:

雾化清洁
自动盖闭合
直观控制面板
过程监控
紧凑型设计
坚固,无振动
环保
选项:
内置排雾装置
二氧化碳注入
定制卡盘
清洁添加


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