ADT 6110是一款高精度、高性能性能半自动切割机。其机身宽度为490mm,占地面积极致小,结合全新设计的操作系统,提供高效、低使用成本的切割体验。
规格
刀片尺寸2英寸
最大工件尺寸6英寸
标配2.2kw高转速主轴(0.34N·m,60,000rpm)
θ轴 DD马达驱动,回转精度、回转分辨率高
自动校准,自动切割,刀痕检测
操作简易
17英寸触摸平 + GUI操作系统
残片识别功能
指定检查位置一键直达
多用途
精密加工碳化硅晶圆、陶瓷、玻璃等材质
高生产率
基于X,Y,Z轴的结构和运动的优化设计,大幅提高生产效率
紧凑设计
占地面积小到极致
最大工作盘尺寸 | φ 150 mm | |
X轴 | 切割范围 | 160 mm |
进刀速度范围 | 0.1~800 mm/s | |
Y轴 | 切割范围 | 162 mm |
单步步进量 | 0.0001 mm | |
定位精度 | 0.001/160 mm | |
Z轴 | 最大行程 | 32.2mm(2英寸刀) |
分辨率 | 0.0001 mm | |
重复精度 | 0.001 mm | |
θ轴 | 最大旋转角度 | 320 Deg |
主轴 | 类型 | 高速气悬浮主轴2.2kw |
额定扭矩 | 0.34 N·m | |
最高回转速度 | 6000~60000 rpm |
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